氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用

应用十一、氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用

CL 004 标准校准漏孔外形为长方体，可以方便放置在任意平面上，其功能用于校准或检测氦质谱检漏仪吸枪模式。外形图如下图：

氦质谱检漏仪尺寸如下图：尺寸单位 mm（英寸）

2. 校准值漏率范围

Pfeiffer CL 004 校准漏孔根据漏率值范围不同分为三种规格：

订货号漏率范围

BG447704-T approx 10^-4 mbar l/s

BG447705-T approx 10^-5 mbar l/s

BG447706-T approx 10^-6 mbar l/s

读数精度：+/-10 %

用户可以根据不同需求确定使用范围，但是具体的数值还要根据校准漏孔本身的读数为准。

3. 校准漏孔操作说明

标准校准漏孔是持续泄露的，既氦气从标准泄漏点持续流出。

应用条件

环境温度 +5 ... +35 °

吸枪校准

将氦质谱检漏仪吸枪对准校准泄漏点，紧靠在泄漏点上，大约 10 s 数值会稳定。

在使用氦气标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准时,氦质谱检漏仪内部校准值要设定和标准漏孔的实际漏率值一样，然后按照校准程序进行校准，最后将校准后的结果保存，校准完毕；另外还可以在检漏仪吸枪模式工作状态时将吸枪靠近校准漏孔泄漏点，比较一下氦质谱检漏仪上的测量值和标准漏孔的实际值的差异，然后在进行校准，再比较。

3. 氦气标准漏孔应用

氦质谱检漏仪吸枪模式（Sniffer mode）使用时，数值会产生误差，使用标准氦气漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，在实际应用中非常必要，Pfeiffer CL 004 氦气标准漏孔提供一个工业标准漏率值，氦质谱检漏仪对应此标准漏率值进行校准，可以提高氦质谱检漏仪的精确度，达到一个更好的测试效果。

4. 工业标准

This is to certify that the leakage rate given in our quality inspection certificate has been established by equipment which are regularly checked (in the course of our control of measurement equipment according to ISO9001) with PTB*-calibrated standard leaks. In this way our measurements of leakage rates are traceable to national standards as required by ISO9000.

*PTB = Physikalisch-Technische Bundesanstalt Berlin

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